3D共聚焦顯微鏡的功能與技術(shù)指標(biāo)

3D共聚焦顯微鏡用來(lái)測(cè)量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等?？舍槍?duì)如下需求開(kāi)展測(cè)試：如精密部件：檢測(cè)對(duì)表面磨損，表面粗糙度，表面微結(jié)構(gòu)有要求的零部件，比如發(fā)動(dòng)機(jī)汽缸、刀口等。

3D共聚焦顯微鏡的技術(shù)指標(biāo)：

1）光學(xué)相機(jī)（3CCD）拍攝分辨率不低于700萬(wàn)像素；

2）垂直方向測(cè)量范圍：＞1.0mm

3）Z軸行程：50 mm

4）垂直分辨率：＜10nm

5）水平分辨率： 0.2μm

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